עומק שדה- התחום בין העצם הקרוב ביותר לעדשת האובייקט לבין העצם הרחוק ביותר הנראה בפוקוס.
מרחק עבודה קטן יותר משפר רזולוציה, כי יש פחות אברציות ספריות, אבל אם רוצים עומק שדה צריך להרחיק ולקבל אברציות ספריות.
בEDS האלקטרון שנפלט הוא אלקטרון ליבה ואנחנו מודדים את קרני הX האופייניות.
אוז'ה זה אלקטרון נמוך אנרגיה.
ביסודות קלים ניצולת הפליטה הפלורוצנטית נמוכה אז יש הרבה אלקטרוני אוז'ה, ביסודות גבוהים לעומת זאת יש פחות ויותר קשה לזהות.