עומק שדה- התחום בין העצם הקרוב ביותר לעדשת האובייקט לבין העצם הרחוק ביותר הנראה ממוקד
מרחק עבודה קטן יותר משפר רזולוציה, כי יש פחות אברציות ספריות. אבל אם רוצים עומק שדה צריך להחיק ולקבל יותר אברציות
בEDS האלקטרון שנפלט הוא אלקטרון ליבה ואנחנו מודדים את קרני האיקס האופייניות
אוז'ה זה אלקטרון נמוך אנרגיה
ביסודות קלים ניצולת הפליטה הפלורסנטית נמוכה אז יש הרבה אלקטרוני אוז'ה, ביסודות גבוהים לעומות זאת יש פחות ויתר קשה לזהות