שאלה | מה ההשפעות של מתח ההאצה על התמונה בSEM?

מה ההשפעות של מתח ההאצה על התמונה בSEM?

		מתח גדול יותר יוצר רזולוציה גבוהה יותר בXY
		מתח גדול טופוגרפיה מאוד ברורה (Z)
		מתח גדול פחות נזק
		מתח גדול יותר edge effect
		מתח גדול יותר charge up
		יוצר בצל יותר גדול --> הורדה של הרזולוציה בXY
		מקטין את הפרוב