רזלוציה לטרלית מרבית מתקבלת ב-

על דרך השלילה: SEM בהכרח רזולוציה לטרלית פחות טובה מTEM. השוואה בין השניים האחרונים: XPS יורים קרני X כלומר נכנסים לעומק בצל האינטרקציה אז הרזולוציה לא טובה. WDS יורים אלקטרונים על דגם דק כך שמלכתחילה בצל האינטרקציה לא גדול במיוחד- סדר גודל של עד כמה מאות ננומטרים-> וזו הרזולוציה הלטרלית הכי טובה שנוכל לקבל.