ארטיפקטים של עיבוד אותות מתקבלים במערכות הבאות :

גלאי גרמניום או סיליקון כמו של EDS. עירור על החומר ממנו עשוי הגלאי ע"י קרני הX הנפלטות גורם להפרדת מטענים-> אלקטרונים אלו מואצים לאנודה וגורמים ליצירת פולס חשמלי-> הגלאי עובד על קליטה של פוטון יחיד כל פעם לכן קבלת אלקטרון נוסף יוצר פולס שגוי-> ארטיפקט. ארטיפקטים של EDS (סתם ככה לידע כללי): גלאי/ עיבוד.