הדמיית יסודות ברזולוציה, הדמייה מקסימלית וברזולוציה מקסימלית תתאפשר ב-

בצל האינטרקציה בTEM קטן יותר לכן הרזולוציה הלטרלית טובה יותר (רזולוציה לטרלית של TEM- 0.2 ננומטר ושל SEM 1-50 ננומטר. בWDS עומק הדגימה פרופורציוני לרזולוציה הלטרלית בין 100 ננומטר ל5 מיקרון. אז סביר ששל TEM תיהיה טובה יותר..).