בEDS , ההבדל בין SEM ל TEM הוא -

א- השגיאה ברגישות קטנה יותר כי נפח אינטרקציה גדול-> החמרת שגיאות בליעה ופליטה פלורסנטית. ב- עיבוד תוצאות כמותי פשוט. ג- גבול גילוי 0.1% בשניהם (יובל גולן: עשירית אחוז ביום טוב), בSEM ביסודות כבדים 0.01%.