רזולוציה לטרלית SIMS
הנדסת חומרים-בן גוריון אפיון בהנדסת חומרים
רזולוציה לטרלית SIMS
1
מיין לפי
מוניטין: 15
SIMS סטטי 1-2 שכבות אטומיות, SIMS דינמי 1-10 nm
מוניטין: 1
מדובר ברזולוציה אנכית, רזולוציה לטרלית תלוייה בכמה אפשר לרכז את קרן היונים עצמה, לדעתי זה בין 30 ננומטר למיקרון
* השאלה נוספה בתאריך: 27-02-2020