הרגישות הגבוהה של XRF לעומת EDS נובעת מ:

XRF מוציא X ומגלה X לכן נפח האינטרציה גדול יותר מאשר EDS EDS הוא גלאי המספק מידע משלים על הרכב כימי מקומי - קרן האלקטרונים הראשית מעררת נפח מסויים בחומר וכתוצאה מכך נפלטת קרינת X אופיינית בגלל שEDS זה ערעור עם אלקטרונים הוא פחות חודר - בצל יותר קטן