פקטור RSF לוקח בחשבון

פקטור הרגישות המשטחב לSIMS, (הריכוז שווה למינון ההשתלה חלקי עומק המכתש) הנחת היסוד היא שריכוז המטריצה קבוע ואינו משתנה בזמן המדידה. קרן יוני חמצן (מעודדת יצירה של יונים חיוביים) ויוני צזיום (שלישים) יגרום לשינוי ברגישות המדידה