הרגישות הגבוהה של XRF לעומת EDS נובעת מ:

XRF מוציא X ומגלה X לכן נפח האינטראקציה גדול יותר מאשר EDS. EDS הוא גלאי המספק מידע משלים על הרכב כימי מקומי- קרן האלקטרונים הראשית מעררת נפח מסוים בחומר וכתוצאה מכך נפלטת קרינת X אופיינית בגלל ש EDS זה ערעור עם אלקטרונים, הוא פחות חודר- בצל קטן יותר.