כיצד ניתן לשפר את הרזולוציה הלטרלית?

לשפר את הרזולוציה הלטרלית: 1) הקטנת שטח הקרן הפוגעת (size spot) ע"י שינוי סוג הפילמנט או ע"י מיקוד הקרן הפוגעת ). 2) זמני חשיפה ארוכים יותר (שיפור יחס אות לרעש אך עלולה להיות בעיה של יציבות תרמית (התפשטות וכיווץ של הדגם והמיכשור). 3) שימוש בזרם אלק' *גדול יותר.* 4) בחירת מתח האצה אופטימלי גבוה ככל הניתן (במחיר הגדלת בצל האינטראקציה). 5) שימוש ב-SE) לפי הבצל אך מתקבל מידע טופוגרפי בלבד). 6) *הקטנת* מרחק העבודה (שיפור אברציות ספריות).