AES= הקרנת חומר בקרן אלקטרונים וזיהוי הרכב היסדות בפני השטח ע"י האנרגיה של אלקטרוני אוז'ה המתקבלים.
אנליזה כימית איכותית של פני השטח.
תמונה שמסבירה טוב בעמוד 83 רימון תמרי.
XRF מוציא X ומגלה X לכן נפח האינטראקציה גדול יותר מאשר EDS.
EDS הוא גלאי המספק מידע משלים על הרכב כימי מקומי- קרן האלקטרונים הראשית מעררת נפח מסוים בחומר וכתוצאה מכך נפלטת קרינת X אופיינית בגלל ש EDS זה ערעור עם אלקטרונים, הוא פחות חודר- בצל קטן יותר.
בשדה חשוך נרצה לראות רק את התמונה המתקבלת מאלומה ספציפית ע"י הזזת הצמצם או הטייה של הקרן. אם למתבדלים או למטריצה הייתה אותה תבנית עקיפה אז לא היה קונטרסט דיפרקציה. בשדה חשוך לא היינו רואים כלום.
(מופיע גרף של שטח חתך ליוניזציה בקליפה K כתלות באנרגיה, הפיק של הגרף ב 55Kev. מהי האנרגיה הקריטית ליוניזציה בקליפה K?