XPS -> ספקטרוסקופיה-> הרכב כימי. אפשרי בXPS פרופיל עומק אבל לא קשור, פה יש אנרגיית קישור= מתארת כמה הגרעין מושך את האלקטרונים שלו כלומר היסטים כימים-> כתלות ביסודות שאיתו וכיצד משפיעים עליו.
עבור גרף של אנרגיית קישור כתלות בעומק , באיזה שיטה משלימה ניתן להשתמש על מנת לזהות פלואור בגודל 1PPM
הגודל של ננו כדוריות של זהב בעלי גודל אחיד , המצויות על שכבה חד מולוקלרית של גרמניום נמדד על ידי 2 שיטות המשלימות אחת את השניה.
בשיטה אחת נמצא גודל הכדוריות היא 25nm ובשיטה השניה 32nm . מהם 2 השיטות ?
א-רזולוציה אנרגטית מסדר גודל דומה- מאות בXRF ובEDS כתלות בגלרי בין 120eV(SiLi) עד 140ev(IGa).
ב- רזולוציה לטרלית של TEM בהכרח טובה יותר שכן יורים קרן אלקטרונים מפוקסת לנקודה ספציפית עם שטח חתך קטן לאינטרקציה לעומת קרני X שלא ניתן למקד בכלל.
ג- בTEM יתכנו בעיות טעינה לדגמים אורגניים.