טיפול תרמי ממושך באווירת חמצן -> היווצרות שכבת תחמוצת עבה -> תחמוצת לא מוליכה -> לא אפשרי STM (לא יהיה מנהור).
LFM רזולוציה לטרלית של עשרות ננומטרים (אטומי בסדר גודל של אנגסטרם).
בצל האינטרקציה בTEM קטן יותר לכן הרזולוציה הלטרלית טובה יותר (רזולוציה לטרלית של TEM- 0.2 ננומטר ושל SEM 1-50 ננומטר. בWDS עומק הדגימה פרופורציוני לרזולוציה הלטרלית בין 100 ננומטר ל5 מיקרון. אז סביר ששל TEM תיהיה טובה יותר..).